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我国芯片领域,取得新突破
我国芯片领域,取得新突破

近日,北大彭海琳教授团队及合作者用冷冻电子断层扫描技术,原位解析光刻胶分子在液相环境的微观三维结构等,开发出减光刻缺陷的产业化方案,相关论文发表于《自然 -...